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传统极紫外光源采用二氧化碳激光轰击锡滴产生等离子体的方式,这个过程存在能量转换效率低、锡滴污染镜面、功率稳定性差三大问题。”

江南略一停顿,细细组织语言,随后声音似水般在众人耳中流淌。

“我们的解决方案是双路径创新。首先是几番测验后开发了一种新型的锡靶材料,通过掺杂特定的稀土元素,改变了锡滴的表面张力和蒸发特性。其次,我们重新设计了激光轰击的时序和角度,采用非对称多脉冲轰击模式。”

江南越说越快,越说越流畅,就好像这些复杂晦涩至极的专业名词,在他脑海中早就过过不止一遍。

“具体来说,我们将单个高能脉冲分解为一组精确控制的微脉冲序列。第一个微脉冲使锡滴预电离,第二个微脉冲在特定相位注入,使等离子体形成特定的磁流体结构……这样可以减少碎屑产生,提高能量耦合效率。”

“目前我们的原型机可以实现稳定功率380瓦,连续工作稳定性达到94.7%,碎屑污染降低到传统方法的十八分之一。相关材料配方和时序控制算法,我们已经申请了专利保护。”

话音落下,弹幕瞬间飙升:

“不明觉厉,虽然听不懂但大受震撼!江南口条这么好吗?一口气说这么多居然连个磕巴都不打。”

“不可能是在读稿子吧?难道这些问题是提前设置好的?”

“前面的,清大已经第一时间辟谣了,这些问题真的全都是随机的。谁敢信,连清大参加交流会都是随机的,之前他们根本就不知道江南研究出了光刻机。”

“妈呀,一个敢随机问一个敢随机答。这是多牛逼的应对能力。不对,这是江南对自己的业务有绝对自信吧!”

“94.7%的稳定性?!这数据是真实的吗?太可怕了!”

“专利保护!做得好!核心技术必须保护起来”

“那些想白嫖技术的外国机构现在傻眼了吧?嘿嘿,专利早安排上了,抄都抄不着。”

“江南教授的声音好好听,俺又爱上了。”

“不知道你们有没有注意到,所有具体数字和操作细节都没说哈哈哈哈哈哈,那帮旁听的估计要抓心挠肝了,江南好鸡贼啊。”

“怎么说话呢,人家这叫聪明!所有的操作细节问啥答啥还不够意思吗?想知道具体数字?让他们自己去试啊!”

“江南真的一句废话都不说哎,这才叫干货交流会!”

“……”

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