线电机和压电陶瓷致动器组装到运动平台的大理石基座上。
装配精度要求极高，电机定子和动子之间的气隙只有几十微米，装配过程中稍有不慎就会导致气隙不均匀，影响运动平台的定位精度。
秦师傅用了两天时间反复校准气隙，用塞尺一个点一个点地测，直到所有的测量点都在公差范围内。
苏工在旁边用激光干涉仪同步监测运动平台的位移精度，每装一个组件就测一组数据。
到第六周末，精密运动平台装配完成，定位精度达到图纸标注的零点五纳米。
第七周，光学系统、精密运动平台和曝光系统进入联合校准阶段。
这是整个光刻机制造过程中最复杂的一道工序。
三个子系统各自独立调试的时候都能达到设计指标，但组装在一起之后，系统之间的相互影响会产生新的误差源。
光学镜组和运动平台之间的对准误差、曝光光源的光强均匀性对成像质量的影响、控制系统的实时反馈延迟——这些都需要在联合校准中逐一排除。
古工和苏工连续四天没有离开洁净车间。
他们在车间角落里支了两张行军床，轮换着睡几个小时，醒来继续调。
许锋每天去两次洁净车间，早上七点一次，晚上十点一次。
他不插手具体的调试工作，但每次都会在工序记录表上签字。
第八周，联合校准完成。
古工在工序排期表上划掉了“联合校准”那一行。整张排期表上只剩最后一项没有打勾——“首次试制”。
首次试制安排在一个周二的上午。古工选周二是因为周一是例行碰头会，所有子系统的状态都要在会上确认一遍，确认完毕之后才能开始试制。周一的碰头会开了不到二十分钟，因为所有子系统的状态都是绿色的。
周二早上七点，许锋到洁净车间的时候，古工和苏工已经在做最后的检查。
一片直径两百毫米的测试晶圆被装进精密运动平台的夹具上，光学系统完成了最后一道自检程序，曝光光源预热到额定功率。
洁净车间里所有的参数都在显示屏上实时跳动——温度、湿度、气压、振动、粒子数，每一个参数都在标准范围以内。
此刻，光刻机随时可以启动。