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第310章 土法上马[3 / 5]

,”他忽然问,“如果不用胺类敏化,直接用重铬酸盐,感光性差多少?”

“差很多。”王技术员说,“可能需要曝光时间延长几倍,而且线条边缘不锐利。”

“但如果我们的光刻机曝光能量足够强呢?”

“那......也许可以试试。”王技术员不太确定,“但赵总工,这东西真不行。国际上的光刻胶都是专门的感光树脂,分辨率能达到微米级。咱们这个,可能连十微米都做不出来。”

“先别管国际上。”赵四说,“咱们的目标是做出能用的芯片,不追求性能多好。十微米的线条,对4位处理器来说,够不够?”

他看向陈启明。

陈启明皱眉想了想:“4004的最小线宽是8微米。如果咱们放宽到10微米……芯片面积会大一些,但功能应该能实现。”

“那就先解决有无问题。”赵四拍板,“王工,你带几个人,全力攻关重铬酸盐明胶。目标是:一、配方稳定,批批能用;二、分辨率尽量高;三、寿命尽量长。”

“好……我试试。”王技术员压力很大。

“不是你一个人。”赵四说,“林雪,你配合王工,负责测试。每配一批胶,马上上机试,记录效果。张卫东,你改造光刻机的曝光系统,提高紫外光强度,补偿感光度不足。”

“明白!”

“陈启明,你调整设计。”赵四继续说,“既然工艺能力有限,咱们就把设计放宽。线宽统一加到10微米,间距也放宽。先保证能做出来,再谈性能优化。”

“行。”

任务分下去,车间又动起来了。但气氛不一样了。之前是为提高良品率奋斗,现在是为生存奋斗。

王技术员的小组当天就配了五批胶,每批配方稍有不同。重铬酸盐浓度、明胶比例、水浴温度、搅拌时间……全都记录在案。

林雪带着人一批批试。效果确实不理想。有的胶涂不均匀,有的曝光后根本硬不起来,有的显影时整片脱落。

到了下午,终于有一批勉强能用。在硅片上曝光后,能形成模糊的图案,虽然线条边缘像狗啃的一样,但至少是个图案。

“赵总工,您看。”林雪把晶圆递过来。

赵四对着光看。线条很粗糙,有的地方宽,有的地方窄,但连续性是好的。

“能蚀刻吗?”

“试了,能。”林雪说,“但蚀刻后的线条更难看,而且有钻蚀现象。”

“先不管美观。”赵四放下晶圆,“用这个胶,做一片完整的芯片

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